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产品先容
产品特点

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PF-300T Altair TiN 是一款热型原子层沉积（Thermal ALD）装备，聚焦高性能氮化钛（TiN）金属薄膜沉积，可实现差别温度、差别厚度的 TiN 薄膜沉积。产品在颗�？刂颇芰Α⒛ず窦暗缱柙瘸菩浴⒏呱羁肀忍ń琢致实确矫娴执锕柿煜人�。产品可搭载3个两站式反应腔，产能高，坪效比优异，已普遍应用于先进逻辑、存储和封装等领域。

产品特点
      - 高质量 TiN 薄膜沉积能力
      - 超高深宽比结构台阶笼罩率可达90%以上
      - 优异的颗�？刂颇芰Α⒛ず窦暗缱柙瘸菩�
      - 可搭载3个两站式反应腔，具备优异的产能和坪效比