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产品先容
产品特点

产品先容

PF-300T Upsilon 是一款面向先进逻辑芯片制造的紫外线固化（UV Cure）装备，该产品通过自主研发的匀称光路设计及精准可控的紫外光固化工艺，实现对沉积后的介质薄膜举行改性处置惩罚，可显著提高薄膜性能。现在已笼罩所有 UV 应用，如低 k 介电薄膜（Lok-II）和高应力氮化硅（HTN）的沉积后处置惩罚，为客户提供多样化产品设置及解决计划。平台一体化的集成架构，将专用UV固化反应腔直接搭载于成熟量产 PECVD 装备平台，在包管高精度固化工艺效果的同时，提升整机量产能力，已通过先进晶圆厂高产能量产验证。

产品特点
      - 匀称光路设计，实现稳固紫外固化效果
      - 优异的生产本钱(CoO)及性能指标
      - 可搭载1~3个反应腔
      - 通过S2清静认证和F47标准磨练

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