艾弗森贝博ballbet官网

产品系列

ballbet贝博·(中国)艾弗森官网

产品先容
产品特点

产品先容

随着逻辑与存储芯片制造中薄膜质料类型一直增添，装备需要具备更强的工艺扩展能力和多质料兼容能力。PF-300T eX 是一款面向28纳米及以下逻辑芯片和存储芯片制造的 PECVD 装备，聚焦多质料介质薄膜沉积需求，eX 反应腔在气体控制、射频响应、颗粒管控及工艺稳固性上做了针对性强化，产品工艺笼罩高刻蚀选择比 ACHM 硬掩膜、低介电常数（Low-k）绝缘薄膜及NDC 刻蚀阻挡层、超低介电常数（ULK）薄膜，知足客户差别手艺节点需求。

产品特点
      - 可按客户需求设置1~3路液态源，支持多种先进工艺
      - 单机产能凌驾220 WPH，颗�？刂颇芰τ乓�
      - 具有优异的产能体现与综合运营本钱（CoO）
      - 支持 TSV 所需低温（<200℃）TEOS SiO?工艺
      - 通过 S2 清静认证和 F47 标准磨练

关于艾弗森贝博ballbet官网

产品系列

投资者关系

可一连生长

可一连生长

新闻资讯

招贤纳士

联系艾弗森贝博ballbet官网

联系艾弗森贝博ballbet官网

关于艾弗森贝博ballbet官网

+

产品系列

+

投资者关系

+

新闻资讯

+

招贤纳士

+

联系艾弗森贝博ballbet官网

+

微信公众号

COPYRIGHT 2025 拓�？萍脊煞萦邢薰� All RIGHTS RESERVED. 辽ICP备05007152号-1

Follow us BE SOCIAL