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产品先容
产品特点

产品先容

随着三维堆叠手艺生长，薄膜剩余应力一直累积，晶圆翘曲已成为影响后续制程稳固性和产品良率的要害挑战。PF-300T Bianca / Bianca-U是拓�？萍季劢褂诮饩鼍г睬糖淖氨赶盗�，在晶圆背面沉积 SiN、SiO? 等介质薄膜，通过应力调理，精准控制 X/Y 偏向翘曲度，实现晶圆翘曲的纠正及晶圆背面的�；�。该产品无需翻片及去边办法，简化芯片制造流程，进一步提升产品良率、降低综合制造本钱。

产品特点
      - 高应力调理规模，实现精准晶圆翘曲曲率控制
      - 应力分区调理功效（-1000~400Mpa），顺应差别晶圆翘曲形态
      - 可兼容低温顺高温工艺（280℃~550℃）
      - 优异的颗�？刂萍氨∧ぴ瘸菩�
      - 无需翻片及去边办法，去边量可控