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产品先容
产品特点

产品先容

PF-300T SAF 是一款次常压化学气相沉积（SACVD）装备，聚焦要害介质填充，主要应用于浅沟槽隔离（STI）、预金属介质层层间介质（PMD/ILD）等工艺。产品接纳 O?/TEOS 热化学沉积，针对重大沟槽与间隙结构，可沉积高质量的 TEOS SiO? 和 BPSG 薄膜，实现无朴陋介质填充，搭载 PF-300T 高产能平台，兼顾薄膜质量与量产能力。

产品特点
      -高质量的 TEOS SiO2 和 BPSG 工艺
      -双驱控温加热盘，知足差别厚度匀称性的需求
      -可按客户需求设置多路液态源
      -可搭载1~3个反应腔