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产品先容
产品先容
PF-300T Astra 系列是我公司自主研发的原子层沉积（Atomic Layer Deposition）装备，可设置3个2站的反应腔，现已应用于先进的芯片制造及先进封装（TSV）领域，同时针对先进制程前道工艺（FEOL）举行研制开发。现可提供具有高质量的PEALD SiO2、SiN薄膜等。
- ALD薄膜在高宽比情形下台阶笼罩率可抵达95%
- 优异的生产本钱（CoO）及性能指标
- 具有优异的匀称性和优异的保型性
- 可搭载1-3个PM，每个PM可设置2个stations
- 通过S2清静认证和F47标准磨练
