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产品特点

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NF-300H 是一款拥有3个6站反应腔的高产能 PECVD 装备，是首款乐成导入传感器 (CIS) 量产产线的国产沉积装备，主要应用于 CIS 和 HBM 的超厚介质填充。装备支持高温工艺, 可实现长时间沉积需求的薄膜工艺，具备优异的颗�？刂颇芰�，所沉积薄膜在匀称性和应力控制方面体现优异，在量产产能、工艺稳固性等多项要害指标上实现手艺突破，抵达国际同类装备先进水平。

产品特点
      - 适配沉积时间需求长的薄膜工艺
      - 具备优异的颗�？刂坪陀α刂颇芰�
      - 高产能平台可以同时搭载3个6站反应腔